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> スパッタリング
PREFERRED TERM
スパッタリング  
BROADER CONCEPT
SOURCE
  • スパッタ実務「Q&A集」 / 藤本登 企画編集
  • エレクトロニクス用語事典 改訂4版
URI
http://id.ndl.go.jp/auth/ndlsh/01155699
Download this concept:
RDF/XML TURTLE JSON-LD last modified 2011-07-14T09:23:44 Created 2009-04-032009-04-03
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